型号 dektak150
Veeco Dektak150台阶仪
主要用于薄膜厚度,表面形貌,应力,平整度等精密测量,
广发应用于光学,太阳能,半导体,生命科学,材料科学
等领域。测量时利用金刚石探针在样品表面运动,记录探
针垂直位移,经过一系列信号转换及处理,最终以表面轮
廓线形式表现,从而达到测量样品表面台阶高度,粗糙度
等物理参数的目的。
主要参数:
探针直径为2.5 μm,
探针压力为3 mg,
测量范围是10~66500 nm,
垂直方向精度为0.1 nm。
联系人 马生 13631709005