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日立扫描电镜使用范围及结构组成

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时间:2019-09-19 11:53:39

日立扫描电镜使用范围及结构组成


日立扫描电镜被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、资料、半导体制造、微电路检查等各个研究范畴和工业部门。制样简单、放大倍数可调规模宽、图画的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等,关于导电资料,可直接放入样品室进行剖析,关于导电性差或绝缘的样品则需求喷镀导电层。


日立扫描电镜使用范围及结构组成


电子光学系统包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈、样品室等,首要用于发生一束能量散布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。电磁透镜:热发射电子需求电磁透镜来成束,所以在用热发射电子枪的扫描电镜上,电磁透镜必不可少。通常会装配两组:会聚透镜和物镜,会聚透镜只是用于会聚电子束,与成象会焦无关;物镜负责将电子束的焦点会聚到样品外表。扫描线圈的作用是使电子束偏转,并在样品外表作有规则的扫动,电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作坚持严格同步,因为它们是由同一扫描发生器控制的。


扫描电子显微镜是使用资料外表微区的特征(如形貌、原子序数、化学成分、或晶体结构等)的差异,在电子束作用下通过试样不同区域发生不同的亮度差异,然后取得具有一定衬度的图画。成像信号是二次电子、背散射电子或吸收电子,其间二次电子是zui首要的成像信号。其成像原理图,高能电子束轰击样品外表,激发出样品外表的各种物理信号,再使用不同的信号探测器接受物理信号转换成图画信息。




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