涡轮分子泵抽气原理及故障损坏原因分析
涡轮分子泵的抽气原理 ：
分子泵输送气体应满足二个必要条件： 1）. 涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有 0.06 μm ，即平均看一个气体分子只要在空间运动 0.06 μm ，就可能与第二个气体分子相碰。而在 1.3Pa 时，分子间平均自由程可达 4.4mm 。若平均自由程增加到大于容器壁间的距离时，气体分子与器壁的碰撞机会将大于气体分子之间的碰撞机会。在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时，气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，为形成气体分子的定向运动打下基础。 2）. 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。分子泵的转速越高，对提高分子泵的抽速越有利。实践表明，对不同分子量的气体分子其速度越大，泵抽除越困难。
涡轮分子泵的轴承由有油润滑的滚动轴承和滑动轴承向完全非接触式的空气轴承和磁轴承方向发展。转子的抽气单元有涡轮叶片、盘式叶片和牵引式螺旋槽结构。而且动、静叶片间的间隙很小，叶片很长刚性差。由于操作错误，突暴大气到泵中，使叶片损坏，因为受大气负载和离心力的作用开始弯曲振动，超过动、静叶片的间隙将会发生叶片相碰损坏事故。因而，高速旋转的转子系统遭到破坏时有发生，所以关于涡轮分子泵的安全使用问题，曾引起过涡轮分子泵的设计者和操作者的重视和研究，以使涡轮分子泵顺利推广应用与安全运行。
涡轮分子泵的故障分析:涡轮分子泵的故障是由于机械真空泵的轴承系统，驱动系统以及外因等出现问题时而引起的。下面仅介绍引起转子叶片和转子圆筒的破坏的一些情况。
涡轮分子泵损坏的原因:涡轮分子泵损坏的原因可分为设计上的和使用上的两方面的原因造成的。
设计上的安全措施:在转子设计时，要进行回转体整体的应力分析，通过有限单元法计算和电测应力法加以验证，也有用电镜进行组织结构观察。要避免应力集中，气体负荷的安全率要合理设定。高速回转体要做精密的动平衡，动平衡取重时要避免裂纹产生，以防腐蚀，疲劳破坏。有时要作超转数试验以考核零件强度。
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