快速真空退火炉应用领域、系统组成及操作规程注意事项

快速真空退火炉的应用领域有离子注入/接触退火；快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同气体氛围环境下使用；SiAu, SiAl, SiMo合金化；低介电材料；晶体化，致密化；太阳能电池片键合；电阻烧结其他热工艺需求等等...

　　快速真空退火炉的系统组成：

　　1.快速退火炉主要由炉体、炉胆、炉盖及抽真空装置和温控系统组成。

　　2.炉体外壳由型钢及钢板焊接而成，内用硅酸铝耐火纤维模块、超轻质高铝泡沫砖砌筑成炉膛。

　　3.波纹带状加热元件通过高铝瓷钉固定于炉衬棉上。

　　4.炉膛内有一耐热板密焊而成的炉胆，被处理工件安放在炉胆内。

　　5.在炉盖上装有通风机，用来强制气流循环，以使炉内温度和气体均匀。

　　6.炉盖与炉胆口法兰密封连接，炉盖上连接真空装置。

　　7.温控系统采用PID可编程控制，具有超温报警，故障自诊断等功能。

　   快速真空退火炉的操作规程及注意事项：

　　1. 炉子首次使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。

　　2. 炉膛若采用石英管，当温度高于1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透(又叫析晶性)是连熔石英管的一个固有缺陷，属正常现象。

　　3. 冷炉使用时，由于炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉管。

　　4. 定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好，应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。

　　5. 炉子使用过一段时间后，若真空度降低，可分别更换不锈钢法兰盘之间的耐温硅胶圈或重新安装不锈钢法兰盘或更换修理真空系统，以提高系统的整体真空度。

　　6. 炉子在工作过程中，一般在300℃左右若控制偏差还不能消除，出现温度显示值与程序给定值不符或摆动过大，检查参数“M5、P、t”设置是否准确。

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