【行业新闻】高端激光干涉测量仪器在我国成功研发
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时间：2019-06-10 15:23
标题：高端激光干涉测量仪器在我国成功研发
针对光刻机等严苛丈量环境中完成多自由度干与丈量的需求，我们提出了根据棱镜误差矢量剖析的单体集成多轴干与仪组件设计方法，研制出从2轴到5轴的系列化单体式多轴干与仪组件，打破了国外企业的垄断和对我国的出口约束。”4日，清华大学长聘教授、精细仪器系学术委员会主任李岩告知记者。
激光干涉测量是完成超精细测控和微纳尺度丈量的最有效手法之一。在国家严重科技专项“极大规模集成电路制作装备及成套工艺”（02专项）等项目支持下，由李岩等完成的“高测速多轴高分辨率激光干与丈量技能与仪器”项目，打破一系列关键技能瓶颈，形成了丈量新方法、体系及仪器。
李岩介绍，项目完成了从干与仪组件、信号探测解调到多自由度探测方案设计的全链条自研开发的高测速、多轴大量程、高分辨率激光干涉测量体系。
截至现在，项目团队所研制的光刻机用双频激光干涉仪体系，使用到我国自研光刻机工件台样机研制过程中，累计使用50余台套，满足了光刻机双工件台样机的精细丈量需求，减轻了对国外高端干涉仪的依赖，降低了其产品对我国出口约束所形成的研制风险。
李岩说，比方项目开发的亚纳米分辨率可溯源外差干与仪，使用到激光多维丈量体系研讨与开发的比对检定研讨中，找出了激光多维丈量体系非线性误差原因，并用专门的电路加以校对，提高了相关单位激光多维丈量体系的功能，所提出的可溯源干与丈量新方法，为摩尔单位选用阿伏伽德罗常数重新界说作出了奉献。
“项目的成功，打破了外国对我国高端激光干与丈量仪器的约束和垄断，为我国高端装备和仪器研制供给功能稳定且不受制于外国的丈量及溯源能力，丰富了激光干涉测量理论与技能，具有非常重要的技能、经济和社会效益。”李岩说。
来源：新华网
